配方 DSL 参考

APS 配方语言是一种基于行的领域专用语言（DSL），用于自动化真空镀膜工艺。每一行包含一条命令及其参数，以空白字符分隔。除非由流程控制结构改变执行顺序，配方将自上而下顺序执行。

这与 Recipe Editor（配方编辑器） 语言面板中提供的参考内容相同。

语言基础

行格式

command arg1 arg2 ...    # 可选注释

每个非空行都会被解析为一个命令（第一个词），后跟零个或多个参数（标识符、数字或字符串）。注释以 # 或 // 开头，一直延伸到行尾。空行和仅含注释的行会被忽略。

数据类型

类型	示例	说明
整数	`5`、`-10`、`0`	有符号整数
浮点数	`0.05`、`-3.14`、`1e-5`	支持小数与科学计数法
字符串	`"hello"`	双引号包裹；支持 `\n`、`\t`、`\\`、`\"` 转义
布尔值	`true`、`false`、`open`、`closed`、`on`、`off`	别名会被替换：open/on → true，close/closed/off → false
标识符	`M1`、`Ar1`、`pm`	设备或传感器名称；可包含字母、数字、下划线和点

变量

变量用 var 声明，用 $ 前缀引用。变量名不区分大小写。

var flow_rate = 15
var gas Ar1
MFC $gas $flow_rate

内置系统变量：

$_i —— 当前循环迭代序号（从 0 开始），在 loop 块内自动设置
$pressure —— 当前系统压力（只读，来自传感器提供方）
$temperature —— 当前系统温度（只读）
$time —— 当前配方已运行时间（只读）

配方外壳

配方可选地用 begin / end 标记包裹。它们在执行时会被静默跳过，仅用于视觉上的清晰。

begin
    valve M1 open
    delay 5
    valve M1 close
end

流程控制命令

命令	语法	说明
`begin`	`begin`	可选的配方开始标记，运行时无效果。
`end`	`end`	可选的配方结束标记，运行时无效果。
`loop`	`loop count`	开始一个重复 count 次的循环块。count 可为整数字面量或 `$variable`。会将 `$_i` 设为当前从 0 开始的迭代序号。
`endloop`	`endloop`	结束循环块，必须与前面的 `loop` 配对。
`if`	`if sensor_or_var op value`	条件分支。条件为真时执行随后的块。运算符：`<`、`>`、`=`、`==`、`<=`、`>=`、`!=`。左侧可为传感器 ID 或 `$variable`；右侧可为数字、`$variable` 或布尔关键字。
`else`	`else`	前面 `if` 的可选备选分支。
`endif`	`endif`	结束 if/else 块，必须与前面的 `if` 配对。
`label`	`label name`	定义一个具名跳转目标。标签名在配方内必须唯一，运行时无效果。
`goto`	`goto name`	无条件跳转到具名标签。目标必须存在于当前执行作用域内。

# 使用变量作为循环次数
var cycles = 3
loop $cycles
    MFC Ar1 15
    delay 5
    MFC Ar1 0
    delay 2
endloop

# 基于传感器读数的条件判断
if pm < 0.05
    valve M1 open
else
    valve M1 close
endif

# 标签与跳转
label retry
pwait pm 0.01 60
check pm < 0.05
goto retry

函数

函数可让你定义带参数、可复用的命令序列。

命令	语法	说明
`function`	`function name(param1, param2, ...)`	开始一个具名函数定义。参数在调用时成为局部变量。
`endfunction`	`endfunction`	结束函数定义，必须与前面的 `function` 配对。
name	`name arg1 arg2 ...`	调用先前定义的函数，将位置参数绑定到参数名。

function purge_gas(gas, flow, time)
    MFC $gas $flow
    delay $time
    MFC $gas 0
endfunction

# 调用函数
purge_gas Ar1 20 10
purge_gas N2 15 5

变量声明

命令	语法	说明
`var`	`var name = value` 或 `var name value`	声明或更新变量。`=` 号可省略。取值可为数字、字符串、布尔值（`true`/`false`）或标识符。

var target_pressure = 0.05
var gas_name Ar1
var use_bias = true

计时命令

命令	语法	参数	说明
`delay`	`delay seconds`	seconds —— 整数，等待时长	暂停配方执行指定的秒数。
`wait`	`wait seconds`	seconds —— 整数，等待时长	`delay` 的别名，暂停执行给定时间。
`pwait`	`pwait sensor target timeout`	sensor —— 传感器 ID；target —— 浮点数，目标压力；timeout —— 整数，最长等待秒数	等待传感器读数下降到 target 或以下，或直到 timeout 秒耗尽。用于抽真空压力等待。
`pressure`	`pressure sensor target timeout`	（同 `pwait`）	`pwait` 的别名，行为相同。
`check`	`check sensor condition value`	sensor —— 传感器 ID；condition —— 比较运算符；value —— 浮点数，阈值	读取当前传感器值并与阈值比较。若条件不满足则抛出错误（即时检查，不等待）。

delay 10                  # 等待 10 秒
pwait pm 0.05 60          # 等待压力 < 0.05，超时 60 秒
pressure pl 0.01 120      # 同 pwait，使用不同传感器
check pm < 0.1            # 断言压力低于 0.1

设备命令

阀门控制

语法	参数	说明
`valve id action`	id —— 阀门名称（如 M1、V2、V6）；action —— `open` 或 `close`（也接受 `true`/`false`）	打开或关闭阀门。

valve M1 open
valve V6 close

MFC（质量流量控制器）

语法	参数	说明
`MFC id setpoint`	id —— MFC 名称（如 Ar1、N2）；setpoint —— 浮点数，流量（sccm，0 表示关闭）	将质量流量控制器设为给定流量。

MFC Ar1 15
MFC Ar1 0        # 关闭气体流量

泵控制

语法	参数	说明
`pump id action`	id —— 泵名称；action —— `on` 或 `off`（也接受 `true`/`false`）	开启或关闭真空泵。

pump TP1 on
pump TP1 off

平移台定位

语法	参数	说明
`stage id position`	id —— 平移台名称（如 VS）；position —— 浮点数，目标位置（mm）	将直线平移台移动到指定位置。

stage VS -10

偏压 / 电源

语法	参数	说明
`bias id mode value`	id —— 电源名称；mode —— 工作模式（如 voltage、current）；value —— 浮点数，设定值	以指定模式和数值配置偏压电源。

挡板控制

语法	参数	说明
`shutter id position`	id —— 挡板/驱动名称；position —— `open` 或 `close`	打开或关闭镀膜挡板。

样品架（基片旋转）

语法	参数	说明
`holder id action`	id —— 样品架驱动名称；action —— `on` 或 `off`	启动或停止样品架旋转。

旋转

语法	参数	说明
`rotation action [speed]`	action —— `on` 或 `off`；speed —— 可选浮点数，旋转速度	控制基片旋转。开启时可提供可选的速度参数。

rotation on 5.0
rotation off

复合命令

复合命令是将多个设备动作组合为单个步骤的高级操作。它们通常作为运行时从 DLL 加载的外部执行器（worker）操作定义。

命令	语法	说明
`warmup`	`warmup device time power`	运行靶材预热例程：以指定功率为设备供电给定时间。
`scan`	`scan device start end step`	将某设备参数从 start 以 step 为增量扫描到 end。
`deposit`	`deposit device thickness time`	在指定靶源上运行定时沉积，目标为给定厚度和时长。
`set`	`set device param value`	将任意设备参数设为某值，用于通用设备配置。

操作员交互

命令	语法	说明
`message`	`message text...`	向操作员显示一个带指定文本的模态对话框。配方执行暂停，直到操作员点击 OK 确认。适用于人工干预步骤。

message "装入基片并关闭腔门"
message 检查冷却水流量

命令大小写

命令名称不区分大小写：MFC、mfc 和 Mfc 完全等价。设备与传感器 ID 会与硬件配置进行匹配，通常也不区分大小写。变量名同样不区分大小写。

取值替换

命令被分派到硬件层之前，某些关键字取值会被自动替换：

配方中写法	替换后取值
`open`	`true`
`close` / `closed`	`false`
`on`	`true`
`off`	`false`

嵌套规则

loop、if 和 function 块最多可嵌套 8 层（最大嵌套深度）。
function 定义不能出现在 loop 块内部。
goto 目标必须位于当前执行作用域内 —— 不能跳入或跳出循环、函数或条件块。
每个 if 最多只能有一个 else 分支。
所有块结构都必须正确闭合：loop/endloop、if/endif、function/endfunction。

校验

配方校验器在执行前进行五个阶段的检查：

分词 —— 确保文本可被解析为有效的词法单元。
结构 —— 校验块成对匹配（loop/endloop、if/endif、function/endfunction），检查嵌套深度，校验标签唯一性，并确认 goto 目标存在。
命令 —— 检查命令名称已识别且具备所需的最少参数数量。
变量 —— 确认所有 $variable 引用要么以 var 声明，要么是函数参数，要么是已知系统变量。
设备 —— 校验硬件命令（valve、mfc、pump、stage、sensor、power）中使用的设备名称在硬件配置中存在。

完整示例

begin
    # 声明变量
    var base_pressure = 0.05
    var sputter_time = 30

    # 抽真空
    pump TP1 on
    pwait pm $base_pressure 120

    # 通气
    valve M1 open
    valve V2 open
    MFC Ar1 15
    delay 10

    # 确认压力已稳定
    check pm < 0.1

    # 旋转下沉积
    rotation on 3.0
    shutter S1 open

    loop 3
        MFC Ar1 20
        delay $sputter_time
        MFC Ar1 10
        delay 5
    endloop

    # 关机序列
    shutter S1 close
    rotation off
    MFC Ar1 0
    valve V2 close
    valve M1 close
    pump TP1 off

    message "工艺完成 —— 可以卸载"
end