软件套件
APS Software Suite
面向集群设备与多 PLC 真空镀膜系统的可配置控制平台
由 SWS 真空技术销售
APS System Control 在五台 PLC 上运行六腔室集群设备：装载腔、中央传片机械手、四个工艺腔室与各腔室射频电源 — 同一平台，仅通过配置即可向上扩展。
为集群而生 — 一个平台，四款工具
搭建多腔室系统不应意味着从零开发控制软件。APS 软件套件专为集群设备与多 PLC 系统打造——装载腔、中央传片机械手以及跨多台 PLC 的多个工艺腔室，每个腔室拥有独立的状态机与安全保护，全部由一条配方统一编排。同一套配置即可向下适配单腔室实验设备——而这一切都无需编写一行代码。
产品平台
四款集成工具，覆盖从系统设计到生产运行的完整生命周期。
System Builder 正在布局一套镀膜系统的实时原理图与硬件 — 每个设备、管路、界面、联锁与配方都在这里完成配置，无 XML，无代码。
System Builder 系统构建器
可视化设计与配置整台设备 — 无需代码
- ▶ 可视化面板设计器 — 拖放并配置 18 种真空组件，支持网格对齐与像素级精确的运行时预览。
- ▶ 管路图编辑器 — 在组件之间布线，并按气体类型自动着色。
- ▶ 多 PLC 与集群配置 — 在一个工程中配置多台 PLC、传片机械手与各腔室硬件，并配有联锁、报警、配方、趋势图与面板编辑器。
- ▶ PLC 一键生成向导 — 直接从现有 PLC 程序与昆仑通态（MCGS）组态项目生成完整工程。
- ▶ 实时验证 — 在正式上线前对整个配置进行实时错误检查。
对您的价值
数天而非数月即可完成新系统调试 — 之后还能自行修改设备，无需每次改动都依赖软件供应商。
- 无需从零重建，即可迁移现有昆仑通态（MCGS）项目。
- 完全掌控自己的配置 — 无厂商锁定。
- 一款工具即可配置从单腔室实验设备到多 PLC 集群的一切。
System Control — 四腔室集群的实时工艺界面：一目了然地查看各腔室的压力、功率、温度与气体，中央为传输腔与机械手，两侧为实时趋势曲线。
System Control 系统控制
运行设备 — 现代化的实时操作体验
- ▶ 集群设备与多 PLC — 将跨多台 PLC 的多个腔室作为一个系统运行，每个腔室拥有独立状态机；传片机械手通过一条配方指令传送基片。
- ▶ 实时原理图与工艺界面 — 阀门、泵、流量与压力实时更新，管路按气体着色，并支持自定义的各腔室工艺界面。
- ▶ 配方自动化 — 运行带循环、变量与一键操作的结构化工艺。
- ▶ 安全联锁与报警 — 各腔室独立状态机，报警横幅支持消音与复位。
- ▶ 趋势图与数据记录 — 滚动趋势图，并将每次运行的数据记录为本地 TSV 文件；MySQL / MariaDB 数据库用于用户账户与生产任务队列。
对您的价值
操作员一目了然地掌握整个系统，一键运行可重复的工艺 — 在标准工控机或触摸屏上即可完成。
- 实时联锁保护硬件与产品。
- 连续数据记录，工艺一致、可追溯。
- 同一界面可从单腔室扩展到多腔室。
Recipe Editor — 可视化配方搭建（中）、参数树（左）与操作员参数表单（右），用于一套四腔室集群工艺。
Recipe Editor 配方编辑器
工程师掌控工艺 — 操作员只调整您开放的参数
- ▶ 结构化配方格式 — 可读、便于版本管理的 .rcpx 文件，运行前即完成验证。
- ▶ 可视化积木搭建 — 用硬件、电源、工艺、计时与流程积木搭建配方 — 也可直接编辑文本。
- ▶ 操作员参数表单 — 只开放安全、具名的参数（功率、时间、压力、流量）。
- ▶ 完整验证 — 在设计阶段即捕获错误，配方接触硬件之前。
- ▶ 集群编排 — 一条配方驱动整个多腔室系统；一个 transfer 步骤即可在跨 PLC 的腔室间传送晶圆。
对您的价值
工程师固化经过验证的工艺；操作员只调整您允许的参数 — 结果可重复，错误从设计上被杜绝。
- 减少操作失误，产品质量一致。
- 快速编写复杂的多材料、多腔室配方。
- 您的工艺诀窍安全地保存在配方之中。
System Emulator — 一套完整的六腔室集群在多台仿真 PLC 上运行仿真：实时腔室压力、泵达到转速与气体流量，全程不接任何硬件。
System Emulator 系统仿真器
开发、调试与培训 — 零硬件风险
- ▶ 真实真空物理 — 压力演化、泵速曲线、节流调节、气体负载、漏率与热负载。
- ▶ 协议级仿真 — 通过 TCP 同时仿真多台 S7-200 PLC，并支持虚拟 COM 口的串口设备与 Modbus 电源。
- ▶ 真正即插即用 — 完全相同的配置在仿真器与真机上运行，无需改动。
- ▶ 操作员培训 — 安全地演练启动、配方与故障处理。
- ▶ 教学版授权 — 可在任意数量的培训电脑上安装，覆盖整个实验室。
对您的价值
降低调试风险，在配方接触腔室之前完成验证 — 培训操作员也无需占用或危及生产设备。
- 在硬件就绪之前，即可离线启动并测试整套多 PLC 集群。
- 离线与真机使用同一套配置 — 没有意外。
- 可并行培训整个团队，对设备零风险。
专为集群设备与多 PLC 系统打造
装载腔、传片机械手与跨多台 PLC 的多个工艺腔室——每个腔室拥有独立的状态机、报警与联锁，全部由一条配方统一编排。增加一个腔室或一台 PLC 只需配置，无需重写组态软件。
功能与特性
实时硬件控制
通过以太网每 200ms 轮询西门子 S7-200 PLC——可在一个系统中同时运行多台 PLC。无锁通道式线程模型，即使在高负载 I/O 下也能保证界面流畅响应。同时支持串口设备和网络仪器。
实时真空原理图
交互式系统原理图，实时显示设备状态：阀门开关、MFC 流量、传感器压力读数 — 全部实时更新。气路管线按气体类型着色（Ar、N2、真空、排气）。
配方自动化（DSL 脚本）
直观的行式配方语言，支持变量、循环、函数和条件逻辑。内嵌常用操作配方（装载、卸载衬底、抽真空序列）。执行前完整验证。
# 溅射镀膜 — 抽真空、沉积 3 层、安全关机
var base = 0.05 # 基础压力（Torr）
var dep_time = 30 # 每层沉积时间（秒）
pump TP1 on
pwait pm $base 120 # 等待达到基础真空，超时 120 秒
valve M1 open
MFC Ar1 15 # 氩气 15 sccm
delay 10 # 等待压力稳定
rotation on 3.0 # 启动基片旋转
loop 3 # 沉积 3 层
shutter S1 open
delay $dep_time
shutter S1 close
endloop
rotation off
MFC Ar1 0 # 关闭气体
pump TP1 off
message "工艺完成 — 可以卸载"可视化面板设计器
所见即所得画布，百分比网格布局。拖放、缩放 18 种真空组件，支持多选、网格对齐、对齐辅助线和方向键微调。运行时外观像素级精确预览。
管路图编辑器
在组件锚点之间点击拖动绘制管路。自动按气体类型着色（Ar=青色，N2=绿色，真空=橙色）。路径点编辑支持复杂布线。完整导出为运行时 XML。
安全联锁与报警
XML 定义的联锁规则确保安全操作条件（压力限制、阀门顺序、泵保护）。报警横幅实时通知，支持消音和复位。状态机确保正确的启动/待机/加工状态转换。
基于物理模型的仿真
真实真空物理：腔体压力指数时间常数演化、泵速曲线、节流阀缩放、气载平衡、漏率建模。MFC 流量响应含阀门动态特性。热负载仿真。
协议级硬件仿真
使用原生设备协议通信 — Control 无需任何代码修改。同时仿真多台 S7-200 PLC（TCP，端口 102），串口设备通过虚拟 COM 口或 TCP 回环，Modbus RTU 用于电源。完全即插即用替代真实硬件。
支持的硬件
版本与功能
| 功能 | 基础版 | 专业版 | 旗舰版 |
|---|---|---|---|
| 直接系统控制（鼠标或可选触摸屏） | ✓ | ✓ | ✓ |
| 可配置系统原理图（实时显示） | ✓ | ✓ | ✓ |
| 嵌入式基本操作脚本 | ✓ | ✓ | ✓ |
| 可调节实时趋势图面板 | ✓ | ✓ | ✓ |
| 本地连续数据记录 | ✓ | ✓ | ✓ |
| 配方脚本语言（内置执行器） | ✓ | ✓ | ✓ |
| 可配置报警与联锁 | ✓ | ✓ | ✓ |
| 集群设备与多 PLC 编排 | ✓ | ✓ | ✓ |
| 支持自定义 PLC 控制器 | ✓ | ✓ | ✓ |
| 支持自定义真空组件 | ✓ | ✓ | ✓ |
| 支持自定义硬件面板 | ✓ | ✓ | ✓ |
| 基础集成包 * | ✓ | — | — |
| 高级集成包 ** | — | ✓ | ✓ |
| APS System Builder（可视化配置工具） | — | ✓ | ✓ |
| APS System Emulator（离线硬件仿真器） | — | ✓ | ✓ |
| APS Recipe Editor（操作员参数表单） | — | ✓ | ✓ |
| 远程系统状态监控 *** | — | ✓ | ✓ |
| 自定义脚本语言（自定义执行器） | — | — | ✓ |
| 任务调度器 | — | — | ✓ |
| 自定义详细工艺界面 | — | — | ✓ |
| 远程数据记录（规划中）**** | — | — | ✓ |
* 基础集成包：配置文件示例、源代码模板，以及硬件驱动、控制器、联锁、报警、自定义面板和嵌入式脚本的 DLL 示例。
** 高级集成包：包含基础包全部内容，另加自定义执行器和自定义工艺面板的配置、模板和示例。
*** 需要远程 HTTP 服务器。 **** 规划中功能；将需要远程数据库服务器（MySQL / MariaDB）。
授权许可
永久（终身）授权，按安装数和单台 PLC 计——多 PLC 集群系统按 PLC 数量添加授权。含 1 年免费技术支持和同一主版本内的更新。System Emulator 提供教学版授权，可安装在任意数量的培训电脑上。 联系我们获取详细报价。
系统集成服务
我们提供完整的硬件系统集成服务，包括自定义驱动开发、面板设计、配方编写和现场调试支持。每项合作包含 1 年质保。可提供延长支持合同。
平台要求
操作系统： Windows 10/11 x64 · 运行时： .NET 9.0 · PLC: 西门子 S7-200（以太网，可多台）
APS Software Suite 可运行在标准工控机上，并可选支持触摸屏面板与平板电脑。除 PLC 和仪器外，无需任何专有硬件。完全兼容真空行业广泛使用的标准西门子 S7-200 PLC。
实时演示
来自真实运行中的 APS System Control 实例的实时画面。
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