产品
APS System Control
工业级智能真空系统控制软件套件
由 SWS 真空技术销售
APS System Control — 实时真空原理图、传感器读数、电源面板、蝶阀控制、一键操作（深色主题）
为什么选择 APS System Control？
制造真空镀膜系统不应意味着从零开发控制软件。APS System Control 是一套完整的、开箱即用的软件平台，以灵活的 PC 方案替代僵化的 HMI 面板。配置硬件、设计操作界面、离线测试整个系统 — 全程无需编写一行代码。
产品平台
三款集成产品，覆盖从系统设计到生产运行的完整生命周期。
System Builder 系统构建器
可视化所见即所得编辑器，用于设计操作面板和配置真空系统 — 无需编写代码。
- 拖放式真空组件布局
- 管路连接与气体类型着色
- 硬件、联锁、报警编辑器
- 实时验证
- 生成运行时 XML 配置文件
- 从昆仑通态（MCGS）项目导入
System Control 系统控制
运行时操作界面。实时硬件控制、配方自动化和系统实时监控。
- 实时真空系统原理图显示
- 配方脚本语言（支持循环和变量）
- 可配置的报警和联锁
- 实时趋势图（ScottPlot）
- 嵌入式一键操作
System Emulator 系统仿真器
基于物理模型的硬件仿真器。无需任何物理设备即可测试和开发系统。
- 真实真空物理模型（泵曲线、气载）
- 原生 S7-200 PLC 协议仿真
- 串口设备协议仿真
- 即插即用替代真实硬件
- 日志回放回归测试
功能与特性
实时硬件控制
通过以太网每 200ms 轮询西门子 S7-200 PLC。无锁通道式线程模型，即使在高负载 I/O 下也能保证界面流畅响应。同时支持多台 PLC、串口设备和网络仪器。
实时真空原理图
交互式系统原理图，实时显示设备状态：阀门开关、MFC 流量、传感器压力读数 — 全部实时更新。气路管线按气体类型着色（Ar、N2、真空、排气）。
配方自动化（DSL 脚本）
直观的行式配方语言，支持变量、循环、函数和条件逻辑。内嵌常用操作配方（装载/卸载基片、抽真空序列）。执行前完整验证。
# 抽真空序列示例
valve Gate close
valve Fore open
delay 3
pwait PL 0.05 60 # 等待压力达到 0.05 Torr，超时 60 秒
valve Gate open
MFC Ar1 5 # 氩气流量 5 sccm
loop 3
stage VS -10
delay 30
endloop可视化面板设计器
所见即所得画布，百分比网格布局。拖放、缩放 15+ 种真空组件，支持多选、网格对齐、对齐辅助线和方向键微调。运行时外观像素级精确预览。
管路图编辑器
在组件锚点之间点击拖动绘制管路。自动按气体类型着色（Ar=青色，N2=绿色，真空=橙色）。路径点编辑支持复杂布线。完整导出为运行时 XML。
安全联锁与报警
XML 定义的联锁规则确保安全操作条件（压力限制、阀门顺序、泵保护）。报警横幅实时通知，支持消音和复位。状态机确保正确的启动/待机/加工状态转换。
基于物理模型的仿真
真实真空物理：腔体压力指数时间常数演化、泵速曲线、节流阀缩放、气载平衡、漏率建模。MFC 流量响应含阀门动态特性。热负载仿真。
协议级硬件仿真
使用原生设备协议通信 — Control 无需任何代码修改。S7-200 PLC 通过 TCP（端口 102），串口设备通过虚拟 COM 口或 TCP 回环，Modbus TCP 用于电源。完全即插即用替代真实硬件。
支持的硬件
版本与功能
| 功能 | 基础版 | 专业版 | 旗舰版 |
|---|---|---|---|
| 直接系统控制（触摸屏或鼠标） | ✓ | ✓ | ✓ |
| 可配置系统原理图（实时显示） | ✓ | ✓ | ✓ |
| 嵌入式基本操作脚本 | ✓ | ✓ | ✓ |
| 可调节实时趋势图面板 | ✓ | ✓ | ✓ |
| 本地连续数据记录 | ✓ | ✓ | ✓ |
| 配方脚本语言（内置执行器） | ✓ | ✓ | ✓ |
| 可配置报警与联锁 | ✓ | ✓ | ✓ |
| 支持自定义 PLC 控制器 | ✓ | ✓ | ✓ |
| 支持自定义真空组件 | ✓ | ✓ | ✓ |
| 支持自定义硬件面板 | ✓ | ✓ | ✓ |
| 基础集成包 * | ✓ | — | — |
| 高级集成包 ** | — | ✓ | ✓ |
| APS System Builder（可视化配置工具） | — | ✓ | ✓ |
| APS System Emulator（离线硬件仿真器） | — | ✓ | ✓ |
| 配方设计器与选择器（操作员界面） | — | ✓ | ✓ |
| 远程系统状态监控 *** | — | ✓ | ✓ |
| 自定义脚本语言（自定义执行器） | — | — | ✓ |
| 任务调度器 | — | — | ✓ |
| 自定义详细工艺界面 | — | — | ✓ |
| 远程数据记录 **** | — | — | ✓ |
* 基础集成包：配置文件示例、源代码模板，以及硬件驱动、控制器、联锁、报警、自定义面板和嵌入式脚本的 DLL 示例。
** 高级集成包：包含基础包全部内容，另加自定义执行器和自定义工艺面板的配置、模板和示例。
*** 需要远程 HTTP 服务器。 **** 需要远程数据库服务器（MySQL / MSSQL / PostgreSQL）。
授权许可
永久（终身）授权，按安装数和单台 PLC 计。含 1 年免费技术支持和同一主版本内的更新。可购买额外 PLC 授权和延长支持服务。 联系我们获取详细报价。
系统集成服务
我们提供完整的硬件系统集成服务，包括自定义驱动开发、面板设计、配方编写和现场调试支持。每项合作包含 1 年质保。可提供延长支持合同。
平台要求
操作系统： Windows 10/11 x64 · 运行时： .NET 9.0 · PLC: 西门子 S7-200（以太网）
APS System Control 可运行在标准工控机或支持触摸屏的平板电脑上。除 PLC 和仪器外，无需任何专有硬件。完全兼容真空行业广泛使用的标准西门子 S7-200 PLC。
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