解决方案
集群与多腔室设备搭建者
装载腔、机械手与多个腔室 — 由一条配方统一编排
编排装载腔、中央传片机械手以及跨多台 PLC 的多个工艺腔室，通常意味着定制 SCADA。 → 通过配置扩展，用一条配方驱动整个集群，并让每个腔室拥有独立的状态机与安全保护。
APS System Control 在五台 PLC 上运行六腔室集群 — 装载腔、中央传片机械手与四个工艺腔室，每个腔室拥有独立的状态机与各自的射频电源。
6 / 5
腔室 / PLC（演示）
1
一条配方编排全部
∞
无代码上限
Per-Ch
逐腔状态机
您能获得什么
- ▶ 通过配置扩展 — 以配置方式增加腔室或 PLC，而非重写 SCADA；腔室与 PLC 数量无代码上限。
- ▶ 一条配方驱动整个集群 — 单条 transfer SRC DST 步骤即可在跨 PLC 的腔室间传送基片。
- ▶ 逐腔自治 — 每个腔室拥有独立的状态机、联锁与报警（六腔室演示运行约 62 条联锁与约 26 条报警）。
- ▶ 整集群离线 — 同时仿真每一台 PLC（集群演示定义了六台 S7 服务器），在硬件到位前即可启动系统。
- ▶ 实时集群视图 — 一目了然地查看各腔室的压力、功率、温度与气体，中央为传输腔。
对您的价值
无需编写定制控制系统即可搭建并运行多腔室集群设备 — 扩展时也无需重新工程化。
- 以配置增加腔室或 PLC，而非重写 SCADA。
- 一条配方在整台设备上协调传片、安全与工艺。
- 在调试前离线验证整个集群。